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Effect of O2 flow rate on the structure, wettability and tribo-mechanical behaviour of Zr-O-N thin films
O2流量对Zr-O-N薄膜结构、润湿性和摩擦学性能的影响
相关领域
材料科学 纳米压痕 氮化锆 微观结构 润湿 扫描电子显微镜 体积流量 薄膜 溅射沉积 复合材料 接触角 分析化学（期刊） 溅射 摩擦学 氧气 冶金 氮化物 纳米技术 图层（电子） 氮化钛 物理 有机化学 化学 量子力学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfin.2021.101441
AI链接 utt.hal.sciencedoi.org
DOI
10.1016/j.surfin.2021.101441 doi
其它 期刊：Surfaces and Interfaces
作者：Linda Aissani; Mamoun Fellah; Ahlam Belgroune; Aleksei Obrosov; Mohammed Abdul Samad; et al
出版日期：2021-09-03
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情书 在 2025-11-23 09:00:21 发布自上海，悬赏 10 积分
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