Phase-shift interferometer measurement of anisotropic stress in wide bandgap Zirconium oxide thin films

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标题	Phase-shift interferometer measurement of anisotropic stress in wide bandgap Zirconium oxide thin films 相关领域材料科学干涉测量薄膜压力（语言学）相（物质）带隙光电子学光学宽禁带半导体纳米技术物理量子力学语言学哲学
网址	https://doi.org/10.1364/oic.2025.wd.7
DOI	10.1364/oic.2025.wd.7 doi
其它	期刊：作者：Horng‐Chih Lin; Hsi-Chao Chen; Yu‐Wei Chang; Kun-Hong Chen; Guanghui Su; et al 出版日期：2025-01-01
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