PVD TiN for Bottom Electrode of Phase Change Memory

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标题	PVD TiN for Bottom Electrode of Phase Change Memory
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1149/06001.0533ecst
DOI	10.1149/06001.0533ecst doi
其它	期刊：ECS Transactions 作者：Wanchun Ren; Bo Liu; Zhen Xu; Jia Xu; Aodong He; et al 出版日期：2014-03-17
求助人	科研后腿在 2026-01-27 16:53:31 发布自上海，悬赏 10 积分
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