Plasma-enhanced atomic layer deposition of Sn-doped indium oxide semiconductor nano-films for thin-film transistors

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标题	Plasma-enhanced atomic layer deposition of Sn-doped indium oxide semiconductor nano-films for thin-film transistors
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6528/ad6c56
DOI	10.1088/1361-6528/ad6c56 doi
其它	期刊：Nanotechnology 作者：Binbin Luo; Conglin Zhang; Wei Meng; Wen Xiong; Min Yang; et al 出版日期：2024
求助人	花开米兰城在 2026-05-20 13:03:51 发布自江苏，悬赏 10 积分
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