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标题
Deposition of large area uniform diamond films by microwave plasma CVD
微波等离子体CVD沉积大面积均匀金刚石薄膜
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网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.10.026
DOI
10.1016/j.vacuum.2017.10.026 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Jun Weng; F. Liu; Liwei Xiong; J.H. Wang; Qi Sun
出版日期：2018-01-01
求助人
刘学 在 2025-06-09 17:30:00 发布自广东，悬赏 10 积分
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