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Machine learning enabled optimization of showerhead design for semiconductor deposition process
基于机器学习的半导体沉积工艺喷头设计优化
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网址
https://doi.org/10.1007/s10845-023-02082-8
DOI
10.1007/s10845-023-02082-8 doi
其它 期刊：Journal of Intelligent Manufacturing
作者：Zeqing Jin; Dahyun Daniel Lim; Xueying Zhao; Meenakshi Mamunuru; Sassan Roham; et al
出版日期：2023-02-15
求助人
暗弱 在 2025-05-20 15:05:53 发布自上海，悬赏 10 积分
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