发布文献求助
已关闭
  • 文献求助详情
标题
Modeling the charging effect of the hardmask and silicon substrate during plasma etching in advanced nodes
相关领域
基质（水族馆） 蚀刻（微加工） 硅 等离子体 等离子体刻蚀 材料科学 光电子学 化学 纳米技术 物理 地质学 量子力学 海洋学 图层（电子）
网址
http://dx.doi.org/10.1063/5.0243470
AI链接 aip.orgdoi.org
DOI
10.1063/5.0243470 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：Yuxuan Zhai; Rui Ge; Ziyi Hu; Junjie Li; Hua Shao; et al
出版日期：2025-02-12
求助人
111 在 2026-08-15 09:29:05 发布自上海，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Formation of self-aligned holes in an arbitrary pattern in silicon substrate
  2. Microfabrication Technique by Gas Plasma Etching Method
  3. The role of feedgas chemistry, mask material, and processing parameters in profile evolution during ...
  4. Optimization Study on Preparation of Macroporous Silicon on P-Type Silicon Substrate by Electrochemi...
  5. A novel two-step etching to suppress the charging damages during metal etching employing helicon wav...
  6. Optical interferometry Endpoint Detection for Plasma Etching
  7. MICROFABRICATION TECHNIQUE BY GAS PLASMA ETCHING METHOD
  8. A new substrate engineering for the formation of empty space in silicon (ESS) induced by silicon sur...
  9. The vacuum evaporation of single crystal thin films of silicon
  10. SiC Plasma and Electrochemical Etching for Integrated Technology Processes
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 12天前，求助关闭

    111 111 Lv1 求助人 关闭了本次求助。

    说明 我找到了【积分已退回】

  • 12天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    09:29:10 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    09:29:07 科研通AI机器人（日本 东京）收到请求，开始寻找文献
    09:29:05 已向机器人发送请求

  • 12天前

    111 111 Lv1 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
molihuakai的应助被hyx9504采纳，获得30
刚刚
verdure的应助被Moonchild采纳，获得10
2秒前
Marshall发布了新的文献求助10
2秒前
酷波er的应助被夜绿采纳，获得10
2秒前
少女椰椰完成签到 ，获得积分10
2秒前
3秒前
3秒前
科研浩完成签到 ，获得积分10
3秒前
李爱国的应助被舒心盼曼采纳，获得10
3秒前
小小完成签到，获得积分10
4秒前
CipherSage的应助被lumi采纳，获得10
4秒前
六芒星发布了新的文献求助10
4秒前
6秒前
6秒前
小小发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
lxy发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
小蘑菇的应助被1123采纳，获得10
7秒前
7秒前
Fairy完成签到，获得积分10
7秒前
8秒前
我是老大的应助被静默采纳，获得10
9秒前
10秒前
10秒前
10秒前
hhh123发布了新的文献求助10
10秒前
YUZU发布了新的文献求助10
11秒前
夜绿发布了新的文献求助10
11秒前
妮多完成签到 ，获得积分10
12秒前
13秒前
13秒前
asdmwhx完成签到，获得积分10
13秒前
吖桶发布了新的文献求助10
13秒前
14秒前
W10完成签到，获得积分10
14秒前
阿鑫发布了新的文献求助10
15秒前
创伤章鱼发布了新的文献求助10
15秒前
15秒前
16秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
China Pluperfect I: Epistemology of Past and Outside in Chinese Art 520
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
Governing Growth: Us Industrial Policy from Hamilton to Trump 500
The fast track to determining transfer functions of linear circuits: The student guide 500
The Analytical and Numerical Solution of Electric and Magnetic Fields 500
Synthesis of P-Chiral Phosphine Ligands and Their Applications in Asymmetric Catalysis 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7623909
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9199094
关于积分的说明 19721674
捐赠科研通 7195161
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3273423
关于科研通互助平台的介绍 2435587
邀请新用户注册赠送积分活动 2269155
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通