Kinetic and Mechanistic Studies of the Thermal Decomposition of Ti(N(CH3)2)4 during Chemical Vapor Deposition by in Situ Molecular Beam Mass Spectrometry - 科研通

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标题	Kinetic and Mechanistic Studies of the Thermal Decomposition of Ti(N(CH3)2)4 during Chemical Vapor Deposition by in Situ Molecular Beam Mass Spectrometry
网址	https://doi.org/10.1021/cm0104708
DOI	10.1021/cm0104708 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Edward T. Norton; Carmela Amato-Wierda 出版日期：2001
求助人	三眼乌鸦在 2026-06-22 13:48:51 发布自江苏，悬赏 10 积分
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