| 标题 |
Precession Electron Diffraction (PED) Strain Characterization in Stacked Nanosheet FET Structure |
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| DOI |
10.31399/asm.cp.istfa2022p0074
doi
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期刊:International Symposium for Testing and Failure Analysis 作者:J. Li; S. Mochizuki; E. Stuckert; L. Tierney; K. Toole; et al 出版日期:2022-10-27 |
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(2025-6-4)