Fracture strength analysis of single-crystalline silicon cantilevers processed by focused ion beam

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标题	Fracture strength analysis of single-crystalline silicon cantilevers processed by focused ion beam
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092442471...
DOI	10.1016/j.sna.2013.11.037 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Yoshimasa Takahashi; Hikaru Kondo; Hironobu Niimi; Takeshi Nokuo; Toshiaki Suzuki 出版日期：2013-12-05
求助人	朴素的草莓在 2026-06-16 22:27:19 发布自北京，悬赏 10 积分
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