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 Airgap Integration on Patterned Metal Lines for Advanced Interconnect Performance Scaling 用于高级互连性能扩展的图案化金属线上的气隙集成
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期刊： 作者：H.K. Chang; Huai Huang; Y. Lo; S.K. Lee; Kewu Yang; et al 出版日期：2023-05-01 |
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