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 Study on the removal mechanism of 4H-SiC materials based on single grain grinding and optimization of process parameters 基于单晶粒磨削的4H-SiC材料去除机理研究及工艺参数优化
相关领域
机制（生物学）
材料科学
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工艺工程
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期刊：Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering 作者：Guoqiang Yin; Luhui Yang; Tingting Niu; Hao Guo; Yunguang Zhou; et al 出版日期：2025-02-04 |
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