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 Reactions between SiCl<sub>4</sub> and NH<sub>3</sub> Leading to the Formation of Silicon Nitride Powders SiClSub 4/Sub和NH Sub 3/Sub之间的反应导致硅氮粉末的形成
相关领域
氮化硅
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期刊：Key Engineering Materials 作者：Gerald Ziegenbalg; Thomas Focke; Horst Holldorf; Reinhold Brink; Horst Lange 出版日期：1997-04-01 |
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