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标题
Combined processing of optical parts through surface polishing with a beam of fast argon atoms and deposition of nanostructured protective films by magnetron target sputtering
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抛光 材料科学 氩 溅射沉积 沉积（地质） 溅射 表面粗糙度 离子束 腔磁控管 惰性气体 表面光洁度 光电子学 薄膜 光学 纳米技术 梁（结构） 冶金 复合材料 化学 物理 古生物学 有机化学 生物 沉积物
网址
https://doi.org/10.1117/12.2594368
DOI
10.1117/12.2594368 doi
其它 期刊：
作者：Sergey N. Grigoriev; Alexander Metel; Yury A. Melnik; Enver Mustafaev; М. A. Volosova
出版日期：2021-07-30
求助人
快乐的小叮当 在 2025-10-29 09:57:31 发布自河南，悬赏 20 积分
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