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标题
Crystallization of catalytic CVD hydrogenated n-a-Si films on textured glass substrates by flash lamp annealing
闪光灯退火在织构玻璃衬底上催化CVD氢化n-a-Si薄膜的结晶
相关领域
结晶 材料科学 退火（玻璃） 微晶 化学工程 无定形固体 化学气相沉积 多晶硅 薄膜 硅 结晶学 薄膜晶体管 复合材料 纳米技术 光电子学 冶金 化学 图层（电子） 工程类
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac290e
DOI
10.35848/1347-4065/ac290e doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Zheng Wang; Huynh Thi Cam Tu; Keisuke Ohdaira
出版日期：2021-09-22
求助人
wjr 在 2025-08-30 14:55:26 发布自宁夏，悬赏 10 积分
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