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  TCAD augmented generative adversarial network for hot-spot detection and mask-layout optimization in a large area HARC etching process 相关领域
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期刊：Physics of Plasmas 作者：Hyoungcheol Kwon; Hyunsuk Huh; Hwiwon Seo; Songhee Han; Imhee Won; et al 出版日期：2022-07-01 |
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