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Characterization of Local Strain around Through-Silicon Via Interconnects by Using X-ray Microdiffraction
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DOI
10.1143/jjap.50.05ed03 doi
其它 期刊:Japanese Journal of Applied Physics
作者:Osamu Nakatsuka; Hideki Kitada; Young-Suk Kim; Yoriko Mizushima; T. Nakamura; et al
出版日期:2011-05-01
求助人
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