AlN/AlScN composite film bulk acoustic wave filters for 5G bands

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标题	AlN/AlScN composite film bulk acoustic wave filters for 5G bands 相关领域材料科学复合数声学声表面波物理声学声波光电子学复合材料物理
网址	https://doi.org/10.1063/5.0276488
DOI	10.1063/5.0276488 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Yinuo Zhang; Guowei Zhi; Tianyou Luo; Guoqiang Li 出版日期：2025-08-04
求助人	雪风在 2025-11-25 15:55:04 发布自河北，悬赏 10 积分
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