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 Material removal rate model for chemical–mechanical polishing of single-crystal SiC substrates using agglomerated diamond abrasive 相关领域
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期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者：Pengfei Wu; Ning Liu; Xue Li; Yongwei Zhu; Pengfei Wu; et al 出版日期：2024-04-03 |
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