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标题
Research on the properties of Ta2O5 optical films prepared with APS plasma assisted deposition
相关领域
材料科学 薄膜 折射率 分析化学（期刊） 表面粗糙度 椭圆偏振法 微电子 蒸发 光学 光电子学 纳米技术 复合材料 化学 色谱法 热力学 物理
网址
https://doi.org/10.1117/12.2604831
AI链接 ac.cndoi.org
DOI
10.1117/12.2604831 doi
其它 期刊：Seventh Asia Pacific Conference on Optics Manufacture (APCOM 2021)
作者：Yonggang Pan; Zheng Liu; Weicheng Liu; Mian Li; SiBao Zhang; et al
出版日期：2022-02-15
求助人
Akim 在 2026-01-06 10:12:34 发布自重庆，悬赏 20 积分
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