A highly hydroxylated 6-tin oxide cluster serves as an efficient e-beam and EUV-photoresist to achieve high-resolution patterns

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标题	A highly hydroxylated 6-tin oxide cluster serves as an efficient e-beam and EUV-photoresist to achieve high-resolution patterns
网址	https://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2025/na/d4na00651...
DOI	10.1039/d4na00651h doi
其它	期刊：Nanoscale advances 作者：Cheng-Dun Li; C. S. Chou; Yu‐Fang Tseng; Burn-Jeng Lin; Tsai-Sheng Gau; et al 出版日期：2025-01-01
求助人	樊珩在 2026-08-10 01:07:42 发布自上海，悬赏 10 积分
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