Patterning chemistry of HafSOx resist

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标题	Patterning chemistry of HafSOx resist
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2046605
DOI	10.1117/12.2046605 doi
其它	期刊：SPIE Proceedings 作者：Jenn M. Amador; Shawn R. Decker; Stefan E. Lucchini; Rose E. Ruther; Douglas A. Keszler 出版日期：2014-03-27
求助人	樊珩在 2026-08-10 01:18:06 发布自上海，悬赏 20 积分
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International Society for Optics and Photonics (SPIE)

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