Thickness dependent optical properties of amorphous/polycrystalline Ga2O3 thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition - 科研通

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标题	Thickness dependent optical properties of amorphous/polycrystalline Ga2O3 thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2022.139655
DOI	10.1016/j.tsf.2022.139655 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Weiming Liu; Junbo He; Xudan Zhu; Tiantian Huang; Xin Chen; et al 出版日期：2022-12-23
求助人	齐代清在 2026-07-04 18:09:48 发布自天津，悬赏 10 积分
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