Simulation and optimization of polysilicon thin film deposition in a 3000 mm tubular LPCVD reactor

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标题	Simulation and optimization of polysilicon thin film deposition in a 3000 mm tubular LPCVD reactor
网址	https://doi.org/10.1016/j.solener.2023.02.044
DOI	10.1016/j.solener.2023.02.044 doi
其它	期刊：Solar Energy 作者：Jicheng Zhou; Bowen Lv; Huiling Liang; Zhe-Xi Wen 出版日期：2023-03-01
求助人	zzh 在 2026-08-26 22:56:48 发布自山东，悬赏 10 积分
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