Monolithic and heterogeneous three-dimensional integration of two-dimensional materials with high-density vias

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标题	Monolithic and heterogeneous three-dimensional integration of two-dimensional materials with high-density vias
网址	https://doi.org/10.1038/s41928-024-01251-8
DOI	10.1038/s41928-024-01251-8 doi
其它	期刊：Nature electronics 作者：Subir Ghosh; Yikai Zheng; Zhiyu Zhang; Yongwen Sun; Thomas F. Schranghamer; et al 出版日期：2024-10-09
求助人	明亮的紫伊在 2026-07-09 16:53:10 发布自江苏，悬赏 10 积分
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