Additive direct-write microfabrication for MEMS: A review

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标题	Additive direct-write microfabrication for MEMS: A review
网址	http://link.springer.com/article/10.1007/s11465-017-0484-4/f...
DOI	10.1007/s11465-017-0484-4 doi
其它	期刊：Frontiers of Mechanical Engineering 作者：Kwok Siong Teh 出版日期：2017-10-20
求助人	尾巴在 2026-05-27 11:29:43 发布自湖北，悬赏 10 积分
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