Compact FTIR engine made through MOEMS technology

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标题	Compact FTIR engine made through MOEMS technology 相关领域光学傅里叶变换红外光谱微电子机械系统材料科学薄脆饼棱镜分光计光电子学傅里叶变换执行机构物理电气工程工程类量子力学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2508985
DOI	10.1117/12.2508985 doi
其它	期刊：作者：Tomofumi Suzuki; Tatsuya Sugimoto; Kyosuke Kotani; Yutaka Kuramoto; Katsumi Shibayama 出版日期：2019-03-04
求助人	ziliz 在 2025-10-13 15:45:38 发布自海南，悬赏 20 积分
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