Fabrication of micro-grooves in silicon wafers using rotary ultrasonic micromachining: Parametric effects of different vibration modes

已完结

文献求助详情

标题	Fabrication of micro-grooves in silicon wafers using rotary ultrasonic micromachining: Parametric effects of different vibration modes 相关领域材料科学薄脆饼制作表面微加工振动超声波传感器参数统计硅体微机械加工微电子机械系统复合材料光电子学声学医学统计替代医学物理数学病理
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2025.09.045
DOI	10.1016/j.jmapro.2025.09.045 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Shah Rumman Ansary; Sarower Kabir; Cynthia Nnokwe; Rui He; Zhijian Pei; et al 出版日期：2025-10-11
求助人	港崽宝宝在 2025-11-02 18:50:58 发布自湖南，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科目三上传了应助文件

刚刚; xyp_zjut完成签到，获得积分10

刚刚; 小马甲上传了应助文件

刚刚; 纯真冰露完成签到，获得积分10

1秒前; 思源上传了应助文件

2秒前; 缘起缘灭完成签到，获得积分10

3秒前; 小面包儿完成签到，获得积分0

3秒前; 专注寻菱完成签到，获得积分10

3秒前; Akim上传了应助文件

3秒前; 史玉屏完成签到，获得积分10

3秒前; 某某某完成签到，获得积分10

3秒前; 大个上传了应助文件

4秒前; tangyuan完成签到，获得积分10

4秒前; 鲤鱼天奇发布了新的文献求助10

5秒前; 小小发布了新的文献求助10

5秒前; 三只保全发布了新的文献求助10

5秒前; 科研通AI6的应助被yyyy采纳，获得10

5秒前; chinbaor完成签到，获得积分10

5秒前; 苹果清涟发布了新的文献求助10

5秒前; 充电宝的应助被asdlxz采纳，获得10

6秒前; 二柱子完成签到，获得积分10

6秒前; 李健的小迷弟的应助被震动的灵煌采纳，获得10

7秒前; XIAONAN完成签到，获得积分10

7秒前; 略略略完成签到，获得积分10

7秒前; 耍酷的剑身完成签到，获得积分10

7秒前; lw发布了新的文献求助10

7秒前; 银玥发布了新的文献求助10

8秒前; 凉风送信完成签到，获得积分10

8秒前; zero完成签到，获得积分10

9秒前; 雨点完成签到，获得积分10

9秒前; 自然代亦完成签到，获得积分10

9秒前; SaturnY完成签到，获得积分10

9秒前; 量子星尘发布了新的文献求助30

10秒前; 彭于彦祖上传了应助文件

10秒前; 惜曦完成签到，获得积分10

10秒前; yoyo完成签到，获得积分10

10秒前; 傅寒天完成签到，获得积分10

11秒前; 递年完成签到，获得积分10

11秒前; 罂粟完成签到，获得积分10

12秒前; 缓慢凤凰驳回了充电宝的应助

12秒前