Metal-organic decomposed cerium oxide thin film in mixed ambient at different temperatures for MOS capacitor

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作者
Farah Hayati Ahmad,Z. Hassan,Way Foong Lim
出处
期刊:Sustainable Materials and Technologies [Elsevier BV]
卷期号:35: e00556-e00556 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.susmat.2022.e00556

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