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Molecular dynamics simulation of ion implantation-assisted grinding of 4 H-SiC single-crystal
作者
Yibo Wu,
Shujing Wu,
Jiapeng Chen,
Yin Song,
Yirun Song
出处
期刊：
Archives of Civil and Mechanical Engineering
[Springer Science+Business Media]
日期：2025-12-19
卷期号：26 (1)
标识
DOI：10.1007/s43452-025-01397-y
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