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Overcoming challenges in microhole dimensional metrology with optical coherence tomography

计量学光学材料科学连贯性（哲学赌博策略）光学相干层析成像 GSM演进的增强数据速率能量（信号处理）相（物质）标准差反射率干涉测量计算机科学电子工程相干后向散射质量（理念）测量不确定度准确度和精密度

作者

Zaixing Wen,Haoyu Zhao,Wenxue Chu,Yongtao Long,Han Luo,Donglin Ma

出处

期刊：Measurement [Elsevier BV]
日期：2025-11-20 卷期号：260: 119774-119774 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.measurement.2025.119774

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