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Preparation of Al2O3 thin films by RS-ALD and edge passivation application for TOPCon half solar cells

钝化 GSM演进的增强数据速率材料科学薄膜化学工程矿物学冶金化学纳米技术图层（电子）工程类电信

作者

Weikang Li,Rong Zhou,Yikai Wang,Qingfeng Su,Jie Yang,Ming Xi,Yongsheng Liu

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2024-07-27 卷期号：673: 160835-160835 被引量：5

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2024.160835

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