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作者
Faruk Azam Shaik,
Grant Alexander Cathcart,
Satoshi Ihida,
M Lereau-Bernier,
Éric Leclerc,
Yasuyuki Sakai,
Hiroshi Toshiyoshi,
Agnès Tixier‐Mita
出处
期刊：
Journal of Micromechanics and Microengineering
[IOP Publishing]
日期：2017-03-15
卷期号：27 (5): 054001-054001
被引量：17
链接
hal.science
doi.org
标识
DOI：10.1088/1361-6439/aa66e8
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