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Reproducibility of photo-nanoimprint
作者
Hiroshi Hiroshima,
Yuichi Kurashima,
Masanori Komuro
标识
DOI：10.1109/imnc.2004.245727
摘要
Nanoimprint lithography is very attractive because of proven potentials for high resolution lithographic techniques [I 1. Sub-1 0-nm-wide patterns can be fabricated by both thermal-nanoimprint and photo-nanoimprint
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