Optimization of the deposited Al2O3 thin film process by RS-ALD and edge passivation applications for half-solar cells

钝化 材料科学 GSM演进的增强数据速率 薄膜 薄膜太阳能电池 工程物理 过程(计算) 光电子学 纳米技术 图层(电子) 计算机科学 电信 工程类 操作系统
作者
Rong Zhou,Weikang Li,Bingxin Ge,J. J. Song,Qingfeng Su,Ming Xi,Yongsheng Liu
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2024.11.261
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