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Controllable variable beam diameter ion source based on the Einzel lens

离子束变量（数学）梁（结构）离子镜头（地质）离子源材料科学光学化学物理数学数学分析有机化学

作者

Dongyang Qiao,Bo Wang,Shuangpeng Guo,Feng Shi,Ye Tian,Mingjin Xu,Xing Peng

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-07-25 卷期号：228: 113503-113503 被引量：5

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113503

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