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Controlled 2D growth approach via atomic layer deposition for improved stability and performance in flexible SnO thin-film transistors

原子层沉积 图层(电子) 制作 材料科学 薄膜晶体管 沉积(地质) 逐层 光电子学 晶体管 薄膜 纳米技术 原子层外延 工程类 电气工程 电压 生物 病理 古生物学 医学 替代医学 沉积物
作者
Hye‐Mi Kim,Won-Bum Lee,H.S. Koo,Seo-Yeong Kim,Jin‐Seong Park
出处
期刊:Journal of Materials Chemistry C [Royal Society of Chemistry]
卷期号:12 (23): 8390-8397 被引量:13
标识
DOI:10.1039/d4tc01169d
摘要

Atomic layer deposition based controlled lateral growth leads the formation of 2D-like SnO thin film. This approach also enabled the fabrication of record stability of SnO TFTs and flexible SnO TFT, stable until 10,000 cycles of bending tests.
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