An Atomic Simulation of AFM-Based Nano Lithography Process for Nano Patterning

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作者
Y. S. Kim,S.O. Choi,Sanghoon Lee,J. Kim
出处
期刊:Solid mechanics and its applications 卷期号:: 331-341 被引量:7
标识
DOI:10.1007/978-1-4020-2111-4_32
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