3D free forms in c-Si via grayscale lithography and RIE

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作者
Isman Khazi,Uma Muthiah,Ulrich Mescheder
出处
期刊:Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
卷期号:193: 34-40 被引量:23
标识
DOI:10.1016/j.mee.2018.02.006
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