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Energy-dependent film growth of Cu and NiTi from a tilted DC magnetron sputtering source determined by calorimetric probe analysis

材料科学薄膜溅射沉积基质（水族馆）薄脆饼溅射腔磁控管扫描电子显微镜光电子学复合材料分析化学（期刊）纳米技术色谱法海洋学地质学化学

作者

Felix Schlichting,Lars Thormählen,Julia Cipo,Dirk Meyners,Holger Kersten

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2022-10-26 卷期号：450: 129000-129000 被引量：4

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2022.129000

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