发布文献求助

Mechanical Stress in SiNx Films Grown by High Density Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

沉积（地质） 化学气相沉积 材料科学 感应耦合等离子体 分析化学（期刊） 残余应力 压力（语言学） 等离子体增强化学气相沉积 薄膜 等离子体 化学 复合材料 纳米技术 色谱法 古生物学 语言学 物理 哲学 量子力学 沉积物 生物
作者
N. S. Kovalchuk,S. A. Demidovich,Л. А. Власукова,И. Н. Пархоменко,Ф. Ф. Комаров
出处
期刊：Inorganic Materials [Pleiades Publishing]
日期：2022-09-01 卷期号：58 (9): 906-911 被引量：2
标识
DOI：10.1134/s0020168522090072
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
蛇虫鼠蚁的应助被lk采纳，获得10
1秒前
hearts_j完成签到，获得积分10
2秒前
阿北完成签到 ，获得积分10
5秒前
Liangc333完成签到 ，获得积分10
8秒前
归尘发布了新的文献求助10
15秒前
失眠醉易的应助被阳光的紫丝采纳，获得20
15秒前
17秒前
Faustina完成签到 ，获得积分10
17秒前
笑点低易真完成签到，获得积分10
18秒前
科研通AI5的应助被天下一番采纳，获得10
20秒前
20秒前
DT发布了新的文献求助10
21秒前
壮观的琦完成签到，获得积分10
21秒前
22秒前
Jasper的应助被beiwanglu2021采纳，获得10
24秒前
科研通AI5的应助被酷炫的归尘采纳，获得10
25秒前
xy发布了新的文献求助10
25秒前
hsj完成签到，获得积分10
27秒前
27秒前
28秒前
zz完成签到，获得积分10
29秒前
认真雅阳完成签到 ，获得积分10
30秒前
张昌昌发布了新的文献求助10
31秒前
zed发布了新的文献求助10
32秒前
杨一发布了新的文献求助10
32秒前
负责惊蛰完成签到 ，获得积分10
34秒前
35秒前
翻似烂柯人完成签到，获得积分10
37秒前
单南柯关注了科研通微信公众号
37秒前
38秒前
852的应助被Faustina采纳，获得30
38秒前
杨一完成签到，获得积分10
39秒前
烛光发布了新的文献求助10
40秒前
WD完成签到，获得积分10
41秒前
天下一番完成签到，获得积分10
45秒前
香蕉觅云的应助被乐观无心采纳，获得10
46秒前
沈沈完成签到 ，获得积分10
46秒前
酷波er的应助被冰冰采纳，获得10
47秒前
温暖宛儿完成签到，获得积分10
48秒前
52秒前
高分求助中
Technologies supporting mass customization of apparel: A pilot project 600
武汉作战 石川达三 500
Arthur Ewert: A Life for the Comintern 500
China's Relations With Japan 1945-83: The Role of Liao Chengzhi // Kurt Werner Radtke 500
Two Years in Peking 1965-1966: Book 1: Living and Teaching in Mao's China // Reginald Hunt 500
Understanding Interaction in the Second Language Classroom Context 300
Fractional flow reserve- and intravascular ultrasound-guided strategies for intermediate coronary stenosis and low lesion complexity in patients with or without diabetes: a post hoc analysis of the randomised FLAVOUR trial 300
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3810536
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3355025
关于积分的说明 10373819
捐赠科研通 3071528
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1687034
邀请新用户注册赠送积分活动 811366
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 766619
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通