刮擦
材料科学
半导体
灵敏度（控制系统）
光电子学
薄膜
纳米技术
复合材料
电子工程
工程类
作者
Geonhee Lee,Min Choi,Soo Sang Chae,Du Won Jeong,Won Jin Choi,Seulgi Ji,Yun Ho Kim,Ji Woon Choi,Tae Il Lee,Incheol Cho,Inkyu Park,Sun Sook Lee,Sungsu Park,Noejung Park,Hyunju Chang,Jeong‐O Lee
出处
期刊：Nanoscale
[Royal Society of Chemistry]
日期：2019-01-01
卷期号：11 (32): 15374-15381
被引量：1
摘要
Nanoscale scratches were produced with mechanical abrasion to enhance the chemical sensitivity of thin-film-type semiconductor sensors; ZnO sensor devices with well-aligned arrays of scratches exhibited superior performance.
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