Simulation‑based deep reinforcement learning for process time optimization in semiconductor cluster tool and an empirical study

半导体器件制造 强化学习 水准点（测量） 调度（生产过程） 计算机科学 过程（计算） 工业工程 实证研究 作业车间调度 工程类 实时计算 晶圆制造 资源配置 可靠性工程 吞吐量 资源（消歧） 离散事件仿真 模拟 工艺优化 薄脆饼 分布式计算 灵敏度（控制系统） 产品生命周期 星团（航天器） 半导体器件建模 在制品 新产品开发 生产（经济） 提前期 实验设计 生产计划 控制工程 动态优先级调度 流水车间调度