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Geometric error correction in micro-probe fiber optic interferometry based on mode field matching for nanometer linear motion positioning

光学物理干涉测量光纤匹配（统计）领域（数学）模式（计算机接口）误差分析观测误差运动（物理）几何光学几何相位计算机科学数学视野错误检测和纠正系统误差信号处理纤维理论（学习稳定性）度量（数据仓库）

作者

Dongguang Li,Chen Luo,Jiahui Guo,Tong Qu,Yilin Yang,XiaoJun Liu

出处

期刊：Social Science Research Network [RELX Group (Netherlands)]
日期：2025-01-01

标识

DOI：10.2139/ssrn.5901190

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