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Uniformity and Repeatability of the Electrical Performance of 4H-SiC Lateral CMOS Devices and Circuits After Postprocessing Annealing

重复性材料科学 CMOS芯片电子线路退火（玻璃）电子工程光电子学集成电路电气工程半导体器件建模逻辑门电路设计

作者

Nicola Rinaldi,Julien Koerfer,Alexander May,Rosalba Liguori,Alfredo Rubino,Gian Domenico Licciardo,Mathias Rommel,Luigi Di Benedetto

出处

期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-12-12 卷期号：73 (1): 243-249

标识

DOI：10.1109/ted.2025.3640151

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