Improved β-Ga2O3 Solar-Blind Deep-Ultraviolet Thin-Film Transistor Based on Si-Doping

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作者
Leyun Shen,Xinhua Pan,Tao Zhang,Yunze Liu,Ning Wang,Peng Wang,Fengzhi Wang,Guangmin Zhu,Jiangbo Wang,Zhizhen Ye
出处
期刊:Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
卷期号:51 (7): 3579-3588 被引量:17
标识
DOI:10.1007/s11664-022-09599-3
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