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Semiconductors and Semiconductor Devices
作者
Prof. S. Amelinckx,
Dries Van Dyck,
J. Van Landuyt,
G. Van Tendeloo
标识
DOI:10.1002/9783527619283.ch3
摘要
The chapter contains sections titles: Introduction Semiconductor Bulk Material Silicon Technology Processes Silicon Device Structure Compound Semiconductor Devices References
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