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作者
Qi Xie,
Jan Musschoot,
Christophe Detavernier,
Davy Deduytsche,
R.L. Van Meirhaeghe,
S. Van den Berghe,
Yu-Long Jiang,
Guo-Ping Ru,
Bing-Zong Li,
Xin-Ping Qu
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2008-06-04
卷期号：85 (10): 2059-2063
被引量：20
链接
handle.net
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doi.org
标识
DOI：10.1016/j.mee.2008.05.026
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