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Organometallic Precursors for Atomic Layer Deposition

原子层沉积环戊二烯基络合物金属有机化学第2组金属有机化学化学金属沉积（地质）反应性（心理学）纳米技术图层（电子）薄膜无机化学催化作用材料科学有机化学分子替代医学病理沉积物生物医学古生物学

作者

Matti Putkonen,Lauri Niinistö

出处

期刊：Topics in Organometallic Chemistry [Springer Science+Business Media]
日期：2005-10-10 卷期号：: 125-145 被引量：63

标识

DOI：10.1007/b136145

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