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Performance improvement of self-powered n-ZnGaO/p-Si heterojunction ultraviolet photodetector using plasma-enhanced atomic layer deposition

紫外线原子层沉积光电探测器异质结材料科学等离子体沉积（地质）图层（电子）光电子学硅纳米技术物理地质学沉积物量子力学古生物学

作者

Chen Wang,Hui-Chen Fan,Chenhao Zhou,Teng-Min Fan,Yun-Shao Cho,Chien-Jung Huang,Shui-Yang Lien

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2025-01-13 卷期号：497: 131780-131780 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2025.131780

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